設(shè)備簡(jiǎn)述
5.很好的薄膜均勻性和重復(fù)性
爐體尺寸 |
φ1900*H1300 |
有效空間 |
φ1600*H1000 |
工件最大直徑*數(shù)量 |
φ175*20 |
標(biāo)準(zhǔn)配置 |
陰極弧8個(gè)/中頻圓柱靶6對(duì) |
工作電壓/頻率 |
380V/50Hz |
實(shí)際功率 |
120KW |
應(yīng)用技術(shù) |
ZP+ARC(選配) |
靶材數(shù)量 |
圓柱靶12個(gè)/弧靶8個(gè) |
極限壓力 |
5.0×10-4Pa |
漏率 |
<10-3Pa.L/s |
抽氣時(shí)間 |
大氣到4X10-3 < 25分鐘 |
真空系統(tǒng) |
分子泵、羅茨泵、旋片泵 |
標(biāo)準(zhǔn)涂層效果 |
IP黑,玫瑰金,IP金,寶石藍(lán),香檳金,炫銀,咖啡色,七彩,槍黑色,鋯金,玫瑰紅等 |
電源類(lèi)型 |
直流疊加脈沖偏壓電源、中頻磁控濺射電源、專(zhuān)用真空弧電源 |
工件轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu) |
下轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu) |
真空室結(jié)構(gòu) |
立式單開(kāi)門(mén) |
生產(chǎn)周期 |
1.5-3.5小時(shí)/爐 |
外圍尺寸 |
L3600*W3200*H2600mm |
控制方式 |
手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化 |
配套條件 |
循環(huán)水壓力:2-3KG/CM3 |
工業(yè)PC+工控軟件+PLC |
水量:10T/H |
||
自己開(kāi)發(fā)的鍍膜專(zhuān)用控制軟件 |
壓縮空氣:4-6 KG/CM3 |
||
工作氣體 |
Ar、N2、O2、C2H2等 |
應(yīng)用 |
裝飾類(lèi)產(chǎn)品鍍膜 |
備注 |
真空室尺寸,外圍尺寸,設(shè)備外觀等可按客戶(hù)產(chǎn)品或及特殊工藝要求訂做,以上信息僅供參考。 |
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